压阻式SICK传感器的结构和效应的资料有哪些？

压阻式SICK传感器的结构和效应的资料有哪些？

SICK传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。 

SICK传感器硅的压阻效应不同于金属应变计（见电阻应变计），前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（应变），而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。 

SICK传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。图2中是两种微型压力传感器的膜片，图中数字的单位为毫米。此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条，两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。  

SICK传感器的种类繁多，其性能也有较大的差异，在实际生活中压力传感器应用是广泛的，根据具体的使用环境、条件和要求，选择较为适用的经济、合理的压力传感器，可以起到事半功倍的效果。要了解不同领域压力传感器应用的方向就必须先了解压力传感器的性能参数及其选择原则。 

SICK传感器(压力传感器原理)是传感器中成熟传感的技术，就市场销售额看，居传感器之首，且每年增长率达2%，具有广阔的应用前景.同技术性能的压力传感器应用于不同不的测量需求己成为当前压力传感器（压力传感器型号）发展和应用的一个重要课题.随着现代测量和自动化技术的发展，市场上的压力传感器品种繁多，格及技术性能不一，格差别规价也很大.在使用者面前的问题是，