小金井嵌入型气缸，KOGANEL嵌入型气缸安装说明

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上海乾拓贸易有限公司

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联系人；居琦

过滤器PLF系列 

●采用多孔中空丝膜滤芯，了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。

●过滤精度高、小型流量大、寿命长

●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器 

过滤精度 处理空气量 配管连接口径 

0.01μm 50～100 l/min M5.Rc1/8 

净化管路过滤器CLF系列 

●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以地捕捉0.01μm的微粒子

●使用的部件在无尘清洁室里进行了清洗。附着的微粒子极少，能立即投入使用。 

过滤精度 处理空气量 配管连接口径 

0.01μm 100 l/min Rc1/8.Rc1/4 

不锈钢调压阀RS系列 

适合于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、

喷气压力控制，洁净空气、气体压力控制等，需要耐腐蚀性的食品相关、无油脂、无润滑油的线。 

压力设定

MPa 处理空气量 配管连接口径 

0.05～0.7 0～

800 l/min M5～Rc1/4  

不锈钢调压阀PRS系列 

液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、

喷气压力控制，洁净空气、气体压力控制等的设定（感度0.001MPa）。 

压力设定

MPa 处理空气量 配管连接口径 

0.01～0.25 0～

250 l/min M5～Rc1/4 

小金井嵌入型气缸，KOGANEL嵌入型气缸安装说明