宝的插入式电磁流量计，0331-C-03,0-FF-MS-FB02-024/DC-08

宝的插入式电磁流量计，0331-C-03,0-FF-MS-FB02-024/DC-08 

上海乾拓贸易有限公司

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接接触，因此具有许多特定的YS，其中之一就是对于流量变

化的响应极快。带 CMOS 传感器 的 MFC 具有100 ms 的响应时间，

且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。

度（由 RT 测得）之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电 流即

精度 以读数的± x %，满量程的 ± y % 表示。一个值为相 对百分数；个值为基本百分数。

重复性 以满量程的 ± x % 表示。重复性是指：重复设置同一个 

设定值时，所产生的实际测量值的偏差。

kV 值 (流量系数) kV 值也称流量因子或流量系数。它代表气体或液

体流过 一个阀门时可以达到的流量，用于选择阀门尺寸。kV 值 

的单位为 m³/h。它相当于水在温度 5 - 30 °C、阀两端压 差 1 bar 时，流过阀门的流量 ( m³/h) 。

cV 值 (流量系数) 类似于 kV 值，但是用于英制测量系统，单

位为 US 加 仑/分，相当于在阀两端压差 1 psi 和水温 60 °F 时测得 的流量。 cV = kV*1.17

用于测量流过该气体通道的气体流量。MFC 中合适的流量调节确保其所测得的

质量流量非常 。由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，所以

CMOS 传感器 8711/8701、8712/8702、8713/8703 型

与在主管道中进行测量的式传感器不同，CMOS 传感器是在旁

路管道中进行测量的。主 管道中的层流元件产生一个必需的压差，

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使小部分流量进入旁路管道。旁路管道内壁上装有带膜 的硅芯片，

该式传感器为 CTA（恒温风速计） 工作原理：控制加热电阻 (RS) 和测

量电阻 (RT) 之间 保持一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体

通道内；另外三个电阻位于气体通道之外。这 五个

电阻连接成一个测量电桥。气体通道中的一个电阻 (RT) 测量介质

温度，另一个阻值电阻 (RS) 不断被加热，使其与介质温

满量程范围/额定流量 Qnom 满量程范围是指满量程值的范围。

用于测量流量。采用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有一个加热电

阻和两个对称的 温度传感器（分别位于上游和下游）。如使加

热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的 电压差

即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量。 

该温度传感器的热量、与介质直 

其小值是小的满 量程值/额定流量；其较大值是较大的满

量程值/额定流 量。单位为标准升/分或标准立方厘米/分等。

工作介质/标定介质 一般情况都采用工作介质进行标定；特殊情况下采用参 考气体（如氮气）。

可调比 小可调流量值与额定流量的比值，如 1:50。

稳定时间 设定值改变后，MFC 达到新旧流量差值的 95 % 所需的 时间，单位为毫秒。

响应时间 流量从 Q1 突变到 Q2 时，MFM 达到新值的 95 % 

所需 的时间： QMFM (t95) = Q1 + 0.95 (Q2 - Q1)

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