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有真空发生器系统和真空泵系统两类组合。 SMC ZX系列真空组件的结构紧凑、
达84kPa外，较大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空组件多可集装10
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供气口有单独供气和集中供气两种，排气口为集中排气式。.ZX系列真空组件采
用了模块式结构，根据使用目的，可以自由组合成不同功能的真空组合元件。
重量小（总组合才120g），故可直接安装在执行元件上。特别适合于100G以下
Up to 84kPa, the maximum inhalation flow can be increased by 40%. SMC
的电子元件、零件的搬运、装配和粘接下两个重叠成一体，较大吸入流量.
SMC ZR系列为大型真空发生器组件，有多种组合方式。特别适合搬运0.5~5Kg的电
零件和零件，系模块式组合。喷嘴直径从ф1到ф2.标准型极限真空度为84kPa
，极限吸入流量为22~84L/min(ANR)。大流量型极限真空度为53kPa，极限吸入流量
ZM series vacuum assemblies can be assembled up to 10
There are two kinds of air supply and centralized air supply. The
.MC ZL系列为三级抽吸的真空发生器组件，带真空过滤器及消音器，还有带真空计或
真空压力开关、供给阀、破坏阀的形式。喷嘴直径为1.2mm。当供给压力为0.4MPa时
，极限真空度为84kPa，较大吸入流量为100/min(ANR)。新型ZL212系列的3段接收管由
AD402-04,SMC真空过滤器性能类别
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