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smc平稳出气阀XVD2-02V
保持旋转的初始供气调节螺母r以右侧，小可能
初始空气供给流量是在该点铭牌和调整
螺母标记对齐接近的地方扭矩感受。 （注意不要
收紧初始空气供应调节螺母4进一步过这一点上，
因为这可能会导致部件损坏。）
确认初始空气供应调节螺母r的位置之后
和初始空气供给刻度板！7的角度对准刻度，
通过旋转螺母向左调整初始空气供给量。据
以“转数和流动特性”作为
示出，设置初始空气供给流动。通过拧紧设置，锁定后
初始空气供给锁螺丝！50.5 N·cm的扭矩。
阀门/针型阀集成建设 - 需要以
前只有1/4的管道空间模型。
通过切换到主阀电路，主阀门
打开，全量被引入到室中。
用平头螺丝刀轻轻转动初始供气锁
螺丝！5要左侧，放松它，直到它停止。
颗粒显著减少通过使用一个金属膜片的板部分
双方初的送风气流和主供气能进行调整。
返回时，引入一次性全部供给压力
（清洁的空气/ N2）的全部金额
在真空室中的气氛会引起微粒就可以进入
室。为了防止这种情况，以后慢慢
引入的初始空气供给和设置
的压力，切换到主阀回路供给的全部金额。
在初始状态下，所述子阀打开和设
置金额（针阀）缓慢供给入腔室。
通过在片材部分使用金属膜片的微粒显著降
的两个初始空气供应和主空气供给量可以调节。
省空间阀门/针型阀集成建设 - 要求
只有1/4的管道空间以前的型号。
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联系人；范勇霞
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