松下晶圆定位传感器技术参数，SUNX晶圆定位传感器

松下晶圆定位传感器技术参数，SUNX晶圆定位传感器

上海乾拓贸易有限公司

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联系人：杨艳凤

上海市嘉定区江桥镇嘉涌路99弄6号713室

型号 M-DW1

中心测量距离 45mm

检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)

可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

检测角度 12.5±5°(注4)

晶圆间距 间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

适用稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)

定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式

投光停止输入 信号条件

・投光停止：断开或4〜8V

・投光：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)

灵敏度切换输入 信号条件

・输入OFF：断开或4〜8V

・输入ON ：0〜3V或9V〜+V(26.4V MAX.)

灵敏度设定 背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行

检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

环晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

电源电压 12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下

消耗电流 65mA以下

输出 NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择

<NPN输出>

NPN开路集电极晶体管

・较大流入电流：100mA 

・外加境

性

能 保护构造 IP20(IEC)

使用环境温度 0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃

使用环境湿度 35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH

使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下

耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间

绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振动 频率10〜500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时

耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回

投光元件电压：30V DC以下(输出和0V之间)

・剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时)

　　　　　　　 0.4V以下(流入电流为16mA时)

<PNP输出>

PNP开路集电极晶体管

・较大源电流：100mA

・外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)

・剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)

　　　　　　　 0.4V以下(源电流为16mA时)

　 输出动作 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON

短路保护 装备(自动复位)

反应时间 500μs以下

工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起)

松下晶圆定位传感器技术参数，SUNX晶圆定位传感器