YS松下晶圆定位传感器，日本Panasonic定位传感器电子样本

YS松下晶圆定位传感器，日本Panasonic定位传感器电子样本

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    重量 本体重量：约75g

    氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

    因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。

    而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。

    0.5ms的高速反应

    实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和。

    基于2段受光元件的位置检测

    利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。

    传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

    可从四个方向引出电缆

    以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，危险。

    M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

    使用环境温度 0?＋55℃(注意不可结露)、存储时：?10?＋70℃

    使用环境湿度 35?85%RH、存储时： 35?85%RH

    使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下

    耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间

    绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

    耐振动 频率10?500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时

    耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回

    投光元件 LED(调制式)

    材质  外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯

    电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm

    电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m

    内置放大器的小巧、轻盈型

    尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。

    灵敏度设定 背面教导：按本体灵敏度设定按钮运行

    检测灵敏度切换：本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

    能 保护构造 IP20(IEC)

YS松下晶圆定位传感器，日本Panasonic定位传感器电子样本