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该式传感器为 CTA（恒温风速计）
另外三个电阻位于气体通道之外。这
五个电阻连接成一个测量电桥。
在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的
接接触，因此具有许多特定的YS，
其中之一就是对于流量变化的响应极快。带 CMOS 传感器
的 MFC 具有100 ms 的响应时间，
保持一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体通道内；
测量介质温度，另一个阻值电阻
管道中的层流元件产生一个必需的压差，
CMOS 传感器是在旁路管道中进行测量的。主
如使加热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的
气体通道中的一个电阻 (RT)
使小部分流量进入旁路管道。旁路管道内壁上装有带膜
(RS) 不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）
之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电
工作原理：控制加热电阻 (RS) 和测量电阻 (RT) 之间
此外，该传感器的结构确保其不易受污染物的影响。
与在主管道中进行测量的式传感器不同，
温度传感器（分别位于上游和下游）。
电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量。
流即用于测量流过该气体通道的气体流量。
MFC 中合适的流量调节确保其所测得的质量流量非常
且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。
。由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，
的硅芯片，用于测量流量。采用 CMOS 传感器技术，
所以当设定值或实际值变化时，该传感
器的响应时间极短，只有几百毫秒。
该温度传感器的热量、与介质直
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