介绍德国BURKER毛细管传感器-1062-4-B-B-008/DC-K1

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　　与 CMOS 传感器一样，毛细管传感器也是采用层流元件来产生压差，

　　的 MFC 具有100 ms 的响应时间，

　　接接触，因此具有许多特定的YS，

　　其中之一就是对于流量变化的响应极快。带 CMOS 传感器

　　使小部分流量进入旁路

　　该温度传感器的热量、与介质直

　　传感器可用于未经标定的气体：

　　简化标定，同时正确选择传感器材质可确保毛细管传感器适用于腐蚀性气体。

　　如使加热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的

　　如果给电桥提供恒定的电流，其输出电压就与这两个

　　细管上，构成半个惠斯顿电桥。当气体流过毛细管时，

　　在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的

　　温度传感器（分别位于上游和下游）。

　　电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量。

　　通过采用一个转换因子对当前介质的测量值进行修正。这样就可

　　其线性关系甚至使该

　　的硅芯片，用于测量流量。采用 CMOS 传感器技术，

　　电阻的差值成正比。因此该输出电压与流过的气体的质量流量成线性关系。

　　该传感器的动态特性取决于不锈钢毛细管的管壁特性，

　　它起着热障的作用。毛细管传感器的

　　这时，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。

　　管道。而主要区别在于：毛细管传感器不与介质直接接触。

　　两个温度相关的电阻缠绕在不锈钢毛

　　小部分流量进入旁路管道。旁路管道内壁上装有带膜

　　就会带走一部分热量，流向为从 R1 至 R2。

　　，CMOS 传感器是在旁路管道中进行测量的。主

　　管道中的层流元件产生一个必需的压差，使

　　响应时间通常为几秒，适用于大多数腐蚀性或毒性气体。

　　与在主管道中进行测量的式传感器不同

　　且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。

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