进口日本SUNX晶圆定位传感器,DP5-C-P
种类 | LED式反射型 | |
型号 | M-DW1 | |
中心测量距离 | 45mm | |
检测物体 | 3英寸以上的半导体晶圆(注2) | |
可对应检测面 | 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3) | |
检测角度 | 12.5±5°(注4) | |
晶圆间距 | 间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5) | |
适用晶圆盒 | SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒 | |
电源电压 | 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下 | |
消耗电流 | 65mA以下 | |
输出 | NPN输出/PNP输出 可由切换开关选择 | |
输出动作 | 可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON | |
短路保护 | 装备(自动复位) | |
反应时间 | 500μs以下 | |
工作状态指示灯 | 橙色LED(输出ON时亮起) | |
稳定指示灯 | 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯) | |
定时器功能 | 装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式 | |
投光停止输入 | 信号条件 | |
灵敏度切换输入 | 信号条件 | |
灵敏度设定 | 背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行 | |
环 | 保护构造 | IP20(IEC) |
使用环境温度 | 0〜+55℃(注意不可结露)、存储时:−10〜+70℃ | |
使用环境湿度 | 35〜85%RH、存储时: 35〜85%RH | |
使用环境照明度 | 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下 | |
耐电压 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 | |
绝缘电阻 | 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | |
耐振动 | 频率10〜500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时 | |
耐冲击 | 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回 | |
投光元件 | LED(调制式) | |
材质 | 外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯 | |
电缆 | 0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm | |
电缆延长 | 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m | |
重量 | 本体重量:约75g |
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