德国式传感器，BURKERT传感器样本

    德国式传感器，BURKERT传感器样本

    所以当设定值或实际值变化时，该传感

    管道中的层流元件产生一个必需的压差，

    (RS) 不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）

    工作原理：控制加热电阻 (RS) 和测量电阻 (RT) 之间

    的硅芯片，用于测量流量。采

    其中之一就是对于流量变化的响应极快。带 CMOS 传感器

    用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有一个加热电阻和两个对称的

    该温度传感器的热量、与介质直

    该式传感器为 CTA（恒温风速计）

    接接触，因此具有许多特定的YS，

    温度传感器（分别位于上游和下游）。

    如使加热电阻保持在一个恒定温度，则两个温度传感器的

    。由于加热电阻和测量电阻都直接位于气体通道内，

    气体通道中的一个电阻 (RT) 测量介质温度，另一个阻值电阻

    器的响应时间极短，只有几百毫秒。

    使小部分流量进入旁路管道。旁路管

    的 MFC 具有100 ms 的响应时间，且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。

    MFC 中合适的流量调节确保其所测得的质量流量非常

    8711/8701、8712/8702、8713/8703 型

    五个电阻连接成一个测量电桥。

    CMOS 传感器是在旁路管道中进行测量的。主

    之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电

    电压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的质量流量。

    此外，该传感器的结构确保其不易受污染物的影响。

    CMOS 传感器道内壁上装有带膜

    与在主管道中进行测量的式传感器不同，

    保持一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体通道内；

    流即用于测量流过该气体通道的气体流量。

    另外三个电阻位于气体通道之外。

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