技术资料：CKD小型过滤器，喜开理管线直装过滤器

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联系人;余玲

CKD过滤器资料说明

小型 高响应。

在确认吸附电子部件中发挥威力。

应用硅微观加工的白金传感器触头

新方案的整流机构，实现了以前所没有的小型·高速响应。适合确认电子部件的吸附，各种N2净化气体流量管理等热式流量传感器·快速流动

FSM系

流量传感器的选定方法

使用流量传感器进行吸附喷嘴的吸附、确认离脱、检查泄漏等时，请作为选定流量范围的大致标准。

根据喷嘴（气孔）的有效截面积及喷嘴内外的压力差，可计算流

　Ｑ：流量 /min

P1：1次侧压力 MPa

P2：2次侧压力 MPa

S ：喷嘴（气孔）的有效截面积 mm2

P2：真空

P1：大气压

下表表示喷嘴的直径为φ0.1～2，P2可变时的流量计算值。

P1：加压

P2：大气压

P1：大气压

注意）

　・配管等有泄漏时，实际流量比计算值大。选定流量时，请考虑配管的泄漏量。

　・配管途中，有比吸附喷嘴直径细的部分时，流量被节流，流量比计算值。

　・有可能不能进行吸附确认。

　・有效截面积为大致标准。喷嘴细长时，有效截面积比比喷嘴的开口面积小。

　・应答速度由从流量传感器到喷嘴（气孔）的配管内容积决定。进行高速检测时，将流量传感器配置在吸附喷嘴附近等，

 尽量使配管的内容积缩小。

　・配管等有泄漏时，实际流量比计算值大。选定流量时，请考虑配管的泄漏量。

　・配管途中，有比吸附喷嘴直径细的部分时，流量被节流，流量比计算值。

　・有可能不能进行吸附确认。

　・有效截面积为大致标准。喷嘴细长时，有效截面积比比喷嘴的开口面积小。

　・应答速度由从流量传感器到喷嘴（气孔）的配管内容积决定。进行高速检测时，将流量传感器配置在吸附喷嘴附近等，

 尽量使配管的内容积缩小。

流量计算值（ /min）

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