松下颜色传感器主要技术，GX-5SU

松下颜色传感器主要技术，GX-5SU

采用声波，透明薄膜、透明瓶等透明体也能检测。

厚度16mm的薄型、紧凑机身。狭小空间也可轻松安装。

只需变更控制输入线的连接，即可轻松进行吸音时ON/隔音时ON的动作切换。

因为音波是将空气作为媒介进行传送的，存在局部性温差，

M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。

因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。

而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和。

利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。

因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。

安装传感器时，请使晶圆端面与传感器检测面之间的距离为45mm，

并且可12.5°倾斜检测晶圆。安装时，使用M4(长度：16mm)螺丝，

紧固扭矩控制在1.2N・m以下。并且，晶圆的位置偏差(突出或凹陷等)会导致检测距离变

化，但是如果误差在5mm范围内，也可实现稳定检测。

晶圆的中心轴与传感器轴在一直线上(0°)将无法检测。

在空气对流较为的场所（门和空调的附近等）

下会发生检测不稳定的情况，所以请避开这类场所进行使用。

附近有金属碰撞等外界干扰音的情况下，会发生误操作的可能性所以请引起注意。

原则上请使用 大灵敏度。但是由于受到周围物体的影响，

在 大灵敏度下发生不良的话（周围物体反射等），请进行调整。

检测轴侧面物体的影响靠近检测轴处有墙面和振动板时，通过反射会产生动作不稳定的情况。

发生下图的情况下，受到背景物体等的影响，会发生动作不稳定的情况。

将检测物远离接收器，如下图所示请以检测物体表面为准做角度倾斜调整。

邻接2台以上传感器的情况下，由于相互干扰，通常会发生声音进入状态的情况。

小检测物体宽度在静止状态下是20×20mm。

移动物体与移动速度及传感器応答时间有关系，那些关联通过以下方式体现。

小检测物体宽度(m)物体的流程速度(m/s)

传感器的应答时间＝0.005(s)静止状态下的小检测物体宽度＝0.02(m)

请避开接通电源时的过度状态（50ms）进行使用。

发送器，接收器元件注意不要直接接触到水和灰尘。会对检测性能产生影响。

以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，危险。

M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。

检测带定位边晶圆时，传感器的安装必须确保可检测定位边以外的位置。

为了从不同的角度两次检测晶圆，请设定机械臂等的动作，对检测信号的结果进行OR处理。

检测8英寸以下的晶圆时，可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。

对于经研磨后厚度变薄的晶圆，如果其端面呈刀刃状，可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。

将外部灵敏度切换输入(紫)设为0～3V或9V～+V(26.4VMAX.)，

则外部灵敏度切换输入ON；设为断开或4～8V，则外部灵敏度切换输入OFF。

通过外部灵敏度切换输入切换灵敏度时，如下表所示设定灵敏度切换开关。

本产品为不易受背景影响的光学部件，但是在检测小口径晶圆等时可能会受背景的影响。

因此，在晶圆盒中无晶圆的状态下检测背景、稳定指示灯(绿色)熄灭时，

需要设定灵敏度以避免背景的影响。但是，一旦设定灵敏度，灵敏度将会下降。

已设灵敏度将保存在EEPROM中，重新接通电源不必重新设定。

但是，EEPROM寿命有限，写入次数为10万次，请注意。

将外部投光停止输入(粉红色)设为0～3V或9V～＋V(26.4VMAX.)时投光停止。此时输出为非入光状态。

不同的传感器输出的检测信号如下所示。输出宽度大于晶圆厚度的宽幅信号。

检测信号的宽度随检测端面的光反射率而变化。高反射率(抛光、铝蒸镀等)：检测信号宽度大

晶圆厚度t＝0.6mm→检测信号宽度 约1.5mm反射率(氮化膜、氧化膜处理等)：检测信号宽度小

晶圆厚度t＝0.6mm→检测信号宽度 约1.1mm检测信号的宽度随检测距离和检测角度而变化。

安装传感器时，必须将传感器与晶圆保持相对倾斜。

请务必在切断电源的状态下进行配线作业。

配线错误会导致故障。请确认电源的波动，以免电源输入过额定范围。

使用市售的开关调节器时，请务必将电源的框架式接地(F.G.)端子接地。

在传感器安装部周围使用作为干扰发生源的设备(开关调节器、

变频马达等)时，请务必将设备的框架式接地(F.G.)端子接地。

延长电缆时，可通过截面积为0.15mm2以上的电缆将全长延长至10m。不过，为避免噪音，请尽量缩短配线。

请避免与高压线和动力线并行配线，或使用同一配线管，否则会因电磁感应而导致误动作。

直流电源请务必使用绝缘变压器。使用自动变压器(自耦变压器)时，有时会损坏本体和电源。

使用电源发生电涌时，请将发生源与电涌吸收器连接，以吸收电涌。

使用时，请避开电源接通时的过渡状态(0.5s)。

快速起动式、高频点亮式荧光灯的光束会给检测造成影响。

虽然因传感器类型而有所差异，但还应注意不要使光束直接投射到传感器上。

请勿在蒸气、灰尘等较多的场所使用。请勿使产品和稀释剂等有机溶剂或水、

油以及油脂直接接触。并且避免在上述环境中使用。

注意避免使传感器的检测面上沾染灰尘等。否则会导致误动作。

如有灰尘，请用压缩空气吹扫或用软布小心擦拭干净。

松下颜色传感器主要技术，GX-5SU