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YHSUNX晶圆定位传感器M-DW1

YHSUNX晶圆定位传感器M-DW1

  • 所属分类:松下SUNX
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2019-12-11
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

  YHSUNX晶圆定位传感器M-DW1

  型号M-DW1<NPN输出>NPN开路集电极晶体管

  使用环境温度0+55℃(注意不可结露)、存储时:10+70℃

  适用晶圆盒SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒

  反应时间500μs以下投光停止输入信号条件

  流入电流:100mA <PNP输出>

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  检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式

  电源电压1224V DC±10% 脉动P-P10%以下

  受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下

  中心测量距离45mm消耗电流65mA以下

  电缆延长0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m

  检测角度12.5±5°(注4)

  投光:03V或9V+V(26.4V MAX.)

  可对应检测面有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)

  材质外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯

  电缆0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm

  灵敏度设定背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行

  检测物体3英寸以上的半导体晶圆(注2)

  晶圆间距间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5)

  20MΩ以上,基于DC250V的高阻表

  使用环境湿度3585%RH、存储时: 3585%RH

  工作状态指示灯橙色LED(输出ON时亮起)

  绝缘电阻所有电源连接端子与外壳之间,

  PNP开路集电极晶体管短路保护装备(自动复位)

  输出NPN输出/PNP输出 可由切换开关选择

  输入OFF:断开或48V投光元件LED(调制式)

  稳定指示灯绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)

  输出动作可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON

  定时器功能装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式

  耐电压AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间

  输入ON :03V或9V+V(26.4V MAX.)

  保护构造IP20(IEC)耐冲击耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回

  投光停止:断开或48V灵敏度切换输入信号条件

  使用环境照明度白炽灯:

  源电流:100mA外加电压:30V DC以下(输出和+V之间)

  耐振动频率10500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时

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  OPTO22SNAP-AOV-25

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  OPTO22SNAP-AITM-2

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  JOUCOMATIC52000063 24VDC

  YHSUNX晶圆定位传感器M-DW1


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