HYDAC传感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法

HYDAC传感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法

产品介绍：

通过多层掩膜组合使用完成深腔内复杂结构的

加工。这种工艺方法解决了在深腔内部

膜结构100 kPa对压力传感器芯片具有线性度

好、灵敏度高的特点,样机经测试满量程内灵敏

进行涂胶和光刻的技术难题,对准和光刻工艺都

工的技术瓶颈。在此工艺基础上设计加工的岛

在同一平面内完成,提高了加工精度,解决了深腔

内部带有岛结构的多层复杂结构压力传感器加

度达到了0.514 mV/(V·kPa),线性度达到0.12%,

重复性达到0.04%。

性能：

压力传感器，可选充胶，功耗；可进行压力

主要应用于：医疗设备，气体流量测量，通风

和温度测量，提供温度补偿；具有高线性或高

灵敏度可进行选择；具有优异的长期稳定性。

设备，高度测量，气压计，轮胎压力等。

型号：

ETS 4144-A-000 

ETS 4548-H-000 

EVS 1000-020 

EVS 1000-080 

EVS 1000-350 

EVS 3100-1 

HDA 4744-A-006-031 

HDA 4744-A-016-000 

HDA 4744-A-016-031 

HDA 4744-A-060-000 

HDA 4744-A-100-000

HDA 4744-A-160-000 

HDA 4744-A-250-000

HDA 4744-A-400-000 

HDA 4744-A-600-000 

HDA 4744-B-100-000 

EVS 3100-2 

EVS 3100-3 

EVS 3100-5

EVS 3100-H-1 

HDA 4444-B-100-000 

HDA 4444-B-250-000 

HDA 4445-A-016-000 

HDA 4445-A-250-000 

HDA 4445-A-400-000 

HDA 4445-B-250-000 

HDA 4445-B-600-000 

HDA 4740-A-400-010 

HDA 4744-A-006-000 

HDA 4744-B-250-000 

HDA 4744-B-600-000 

HDA 4744-B-600-138 

HDA 4745-A-006-000 

EVS 3100-H-2 

EVS 3100-H-3 

EVS 3100-H-5 

EVS 3110-H-1 

EVS 3110-H-2 

EVS 3110-H-3 

EVS 3110-H-5

HDA 7446-A-250-000 

EDS1791-N-016-000

EDS1791-N-040-000

EDS1791-N-100-000

EDS1791-N-250-000

EDS1791-N-400-000

EDS1791-N-600-000

EDS1791-N-600-009(450bar)

EDS1791-P-009-000(-1...+9bar)

EDS1791-P-010-016(0..5V)

EDS1791-P-016-000

EDS1791-P-016-009(10bar)

EDS1791-P-040-000

EDS1791-P-050-016(0..5V)

EDS1791-P-100-000

HDA 3700-A-400-099 

HYDAC传感器EDS3446-3-0400-Y00使用方法