美国派克PARKER气动隔膜阀应用参数

美国派克PARKER气动隔膜阀应用参数 

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930 系列隔膜阀（1-1 / 8英寸的阀体尺寸）可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的性，泄漏完整性和清洁度，使其在UHP半导体行业中成为的应用。

这些材料结合930系列严格的设计特点，给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开-关位置指示。还有多种阀体构造可选，包括930Y系列(Y型阀）和SM930系列(面板安装)。

930系列阀门上内部(阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以适应在苛刻的UHP应用中，保有其性能和稳定性。

派克930系列1-1/8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和颗粒发生，非常适用于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中必不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命

特点与YS:

·电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)·高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务)

·内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留·全压力范围使用:从真空到300 psig

·内部泄漏率: ≤1× 10-9 scc / sec He·外部泄漏率:≤2×10-10 scc / sec He·AOP驱动，额定压力为75 psig

应用:

·腐蚀性气体和特种气体·半导体工具

·工具连接·燃气柜

·阀组箱(VMB)

930系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的VericleanTM 316L不锈钢材质。

Vericlean”是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。930系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE)，聚配迷醚酮树脂（PEEKR）和聚酰亚胺(Vespel@）材质的阀座，可使930阀门与多种工艺流体相兼容。

市场:·半导体·分析实验室·制药

·生物制药·航空航天·工业

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