美国派克PARKER高压水平交叉膜片式阀应用指南
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935A 和 935T 系列为1/2"接口,流量通过阀体连接直径为2"的钢管。这个设计可以使垂直单向阀进入横向气体分流系统的集成得到了简化
派克935A和935T系列不锈钢阀体隔膜阀能够提供优抗漏能力和气体容纳能力,使它成为高流量高纯应用的选择,
包括半导体加工设备。935A这种类型的阀体可以在一定角度定位手柄以便适应狭窄的空间,而无需费力接触手柄。935A和935T有一个位置指示器便于操作人员简单判断出阀门是否关闭。泄放口选项可以简化吹扫操作流程。
半圆式膜片与阀体形成了金属对金属的密封,与膜片接触的区域在保持应力状态下可以进行更大的拉伸行程。
阀体为经过电解抛光处理的Vericlean"316L不锈钢材质。Vericlean""是派克高纯级不锈钢材质。
阀座可选择PCTFE(聚三氟氯乙烯)或VespelR(聚酰亚胺树脂)材质。
935系列阀的内部(阀座)密封及金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏实验,以获得其在高要求的高纯应用中有出色稳定的表现。
束缚式膜片设计提供了阀杆正向拉伸的稳定性,935系列阀体内部无弹簧及螺纹。
·过程控制·半导体行业·分析实验室·制药业·生物制药业·航空航天·工业
特点/YS:
·高流量压应用的选择·10微英寸(Ra)标准表面光洁度·从真空至300 psig压力适用·减少杂质生成及气体的卷入·外部金属-金属密封
·束缚式膜片减少了弹簧在液体中的使用,提高了安全性·开/关阀位置指示
·内部泄漏率: ≤4x 10-9 scc/sec He·外部泄漏率: <2x10-10 scc/sec He
·阀座可选择PCTFE(聚三氟氯乙烯)或Vespel(聚酰亚胺树脂)材质·两个接口,多转式手轮
应用:
·腐蚀性及特殊气体·气体分配系统
·大型特殊气体供应系统(BSGS)
这样减少了表面积及气体卷入的可能,而这是管波纹阀门固有的缺陷,这一设计还可以进行更简便的吹扫及产生更少的杂质。
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