允许(0.001Mpa灵敏度[0.15psi。])设置载气
在各种溶剂和纯净水电路,用于吹塑压力控制
压力控制中,对于清洁的空气和气体的压力控制中使用的液晶或
半导体相关的进程。
使用独立开发的平衡配置,主阀。
●通常情况下出血类型,但实现了功耗的流量,于2R /分钟[0.07ft.3 /分]
●一个推锁定机构被用在压力调节旋钮。
采用多孔中空丝膜滤芯,了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●接触气体采用SUS316或氟橡胶材料的一部分。
●可选压力表可用。
●吹扫气体压力控制
限制吹扫由于线路引起的燃气流量的波动
吹扫气体的压力供给到调节器。
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