日本SMC缝阀材质说明XGT221-46236-1A

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XGT 系列 缝阀

●对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合

阀尺寸 22 轴数:2轴　波纹管;对应晶片尺寸:200mm

阀体形式 1 无盒式

开口窗尺寸 46236 高X宽:46X236mm;对应晶片尺寸:200mm

门O型圈材质 1 FKM

磁性开关及插头 A 磁性开关:D-A93(带2个开关);插头:导线:0.5m(无插头)

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