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德国BURKERT传感器种类
式传感器为 CTA（恒温风速计） 工作原理：控制加热电阻 (RS) 和测量电阻 (RT) 之间保持一个恒定的温差。这两个电阻都直接位于气体通道内；另外三个电阻位于气体通道之外。这五个电阻连接成一个测量电桥。气体通道中的一个电阻 (RT) 测量介质温度，另一个阻值电阻(RS) 不断被加热，使其与介质温度（由 RT 测得）之间始终保持一个恒定的温差。所需的加热电流即用于测量流过该气体通道的气体流量。
比例电磁阀根据控制信号来确定其开度。阀内有两种方向向反的作用力：弹簧力与磁场产生的力。断电时，张紧的弹簧直接将铁心压在阀座上，阀门关闭。如将线圈通电，即产生一个磁场，克服弹簧力将铁心提起，从而打开阀门使介质（气体）流过。线圈电流的大小直接关系到电磁力的大小、铁心的行程、阀门的开度以及流过阀门的气体流量。根据以下参数来计算所需的比例电磁阀的内孔尺寸：所需的额定流量 (Qnom)、工作气体的压力、温度和密度。用于 MFCs 的比例电磁阀的内孔尺寸为 0.05 mm- 12 mm。
毛细管传感器也是采用层流元件来产生压差，使小部分流量进入旁路
管道。而主要区别在于：毛细管传感器不与介质直接接触。两个温度相关的电阻缠绕在不锈钢毛
细管上，构成半个惠斯顿电桥。当气体流过毛细管时，就会带走一部分热量，流向为从 R1 至 R2。这时，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。如果给电桥提供恒定的电流，其输出电压就与这两个电阻的差值成正比。
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